一种适用于衍射光栅的切割方法[发明专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种适用于衍射光栅的切割方法专利类型：发明专利

发明人：于宏柱,唐玉国,赵络欣,孙也尧,常雯娟,王耕,江思博,

李文昊,糜小涛,齐向东,张善文,马振予

申请号：CN201910679691.5申请日：20190726公开号：CN110441847A公开日：20191112

摘要：本发明提供了一种适用于衍射光栅的切割方法，包括以下步骤：S1：将待切割的衍射光栅的表面进行保护，制备成衍射光栅保护结构；S2：将所述衍射光栅保护结构固定于切割机上，切割成所需尺寸；S3：对切割后的小尺寸衍射光栅保护结构进行去表面保护处理。本发明的适用于衍射光栅的切割方法，在衍射光栅的表面进行了有效保护，避免了衍射光栅的表面直接暴露在空气中，避免在切割加工中，切割产生的粉尘和切削液对衍射光栅造成不可挽回的损坏，使切割加工应用于衍射光栅的加工处理成为可能，实现衍射光栅的无损切割，实现了先制备大尺寸的衍射光栅，再切割成所需的小尺寸衍射光栅的制备方式，提高了制备效率。

申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

地址：130033吉林春市经济技术开发区东南湖大路3888号

国籍：CN

代理机构：深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：曹卫良

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