专利名称：衍射光学元件、光照射装置专利类型：发明专利
发明人：宫崎祐一,登山伸人,吉冈英范申请号：CN201780044486.0申请日：20170721公开号：CN109477915A公开日：20190315
摘要：提供一种光的利用效率高，且即使在光的入射角偏离的情况下，对衍射光的影响也小并能够稳定地获得希望的衍射光，进而衍射光的不均匀性少的衍射光学元件、光照射装置。衍射光学元件(10)是一种对光进行整形的衍射光学元件，具备衍射层(15)，所述衍射层(15)具有：高折射率部(11)，在剖面形状中多个凸部(11a)排列配置；和低折射率部(14)，折射率比高折射率部(11)低，且至少包括在凸部(11a)之间形成的凹部(12)，凸部(11a)在其侧面形状的至少一侧具有具备高度不同的多个台阶部(11a‑1、11a‑2、11a‑3、11a‑4)的多阶段形状，凸部11a的侧面形状至少在一部分具备向包括衍射层(15)的平面倾斜的倾斜部(11b、11c、11d)。
申请人：大日本印刷株式会社
地址：日本国东京都
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：吴秋明
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