红外探测器及多波段非制冷红外焦平面[实用新型专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：红外探测器及多波段非制冷红外焦平面专利类型：实用新型专利

发明人：梁华锋,王宏臣,陈文礼,魏慧娟申请号：CN2010206340.3申请日：20101201公开号：CN202066596U公开日：20111207

摘要：本实用新型红外探测器包括基底结构、微桥结构，基底结构包括含有读出电路的硅衬底基底、两个读出电路电极、反射层，微桥结构包括微桥桥面、两个支撑柱、两个支撑桥腿。反射层位于硅衬底基底的一端面上；两个读出电路电极呈对角线分布，与反射层位于硅衬底基底的同一端面上，且互不接触；两个支撑桥腿各有一端与桥面相连，另一端经由支撑柱、读出电路电极分别与读出电路相连；使桥面悬空于反射层之上，二者之间形成光学谐振腔；桥面自光学谐振腔向上分布有支撑层、热敏层、钝化层、电磁波激发层。此外，还提供一种多波段红外焦平面。本实用新型就实现一种结构简单、体积小、制作工艺难度低、低成本、高成品率的多波段非制冷红外焦平面。

申请人：烟台艾睿光电科技有限公司

地址：2006 山东省烟台市烟台开发区珠江路32号(留学人员创业园区)

国籍：CN

代理机构：北京轻创知识产权代理有限公司

代理人：杨立

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