一种透镜焦平面上聚焦光斑间相对位移扫描方法[发明专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种透镜焦平面上聚焦光斑间相对位移扫描方法专利类型：发明专利

发明人：赖天树,余华梁,张秀敏申请号：CN200910036514.1申请日：20090112公开号：CN101477247A公开日：20090708

摘要：一种透镜焦平面上聚焦光斑间相对位移扫描方法，其特点是使用聚焦透镜的面内位移代替传统的光束角度扫描，实现焦平面上聚焦光斑的线性扫描。这种光斑扫描方法的分辨率仅由线性平移台的分辨率决定，而与聚焦透镜的焦距无关，能够达到埃量级；光斑扫描时，能够保持光束的光程不变；原理如上图所示，将聚焦透镜沿直径切割，一分为两个半透镜，但两半透镜仍共面。两束入射激光均与透镜主光轴平行，因而消除了光束倾斜引起的各种像差。两束激光分别通过两个切割分离的半透镜聚焦在焦平面上。其中一个半透镜固定在一或二维线性平移台上，由平移台控制其面内移动，从而实现通过该半透镜的激光束在焦平面上的聚焦光斑相对于通过另一半透镜聚焦光斑的扫描。应用于半导体中电子自旋输运的测试实例显示了本发明的有益效果。

申请人：中山大学

地址：510275 广东省广州市新港西路135号

国籍：CN

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