一种非球面顶点球曲率半径的测量系统及方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201110056021.1 （22）申请日 2011.03.09

（71）申请人 浙江大学;中国科学院光电技术研究所

地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

（10）申请公布号 CN102155926A

（43）申请公布日 2011.08.17

（72）发明人 杨甬英;骆永洁;田超;卓永模;吴高峰 （74）专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公司

代理人 张法高

（51）Int.CI

G01B11/255;

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种非球面顶点球曲率半径的测量系统及方法

（57）摘要

本发明公开了一种非球面顶点球曲率半径

测量系统及方法。本发明解决了非球面顶点球曲率半径在传统装置中无法精确测量的难点。本发明的技术特点在于，利用一个承担大球差的会聚透镜与辅助消球差补偿镜组合后形成起定位作用的齐明镜组，将非球面精确定位在齐明镜猫眼位置，再运用导轨系统移动非球面到指定的位置形成检测光路，再移去辅助消球差补偿镜组，与参

考光路形成了一个非球面顶点球曲率半径测量系统。在光学设计类软件中，如ZEMAX等，对该测量系统进行建模，不断改变非球面顶点球曲率半径值，直至建模系统中仿真条纹及其波像差泽尼克系数和实验测量系统条纹及其波像差泽尼克系数相一致。该方法为高精度面形检测提供了精确的顶点球曲率半径。

法律状态

法律状态公告日

2011-08-17 2011-09-28 2013-03-06

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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