专利名称：对在多个位置处的物体成像的装置专利类型：发明专利
发明人：Y·弗拉迪米斯基,R·J·瓦德,M·阿里夫,L·雷日科夫,R·V·
古纳瓦达纳
申请号：CN201980039536.5申请日：20190611公开号：CN112292640A公开日：20210129
摘要：公开了一种用于对处于多个位置(400；410)中的任何一个位置处的物体成像的系统，该系统包括：一个或多个分束器(420)，每个分束器(420)将来自物体的光分成成像束和连续束；以及用于每个分束器的光学元件，该光学元件接收成像束并且在物体处于相应位置时对物体成像。
申请人：ASML控股股份有限公司
地址：荷兰维德霍温
国籍：NL
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：胡良均
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