申请(专利)号： JP19760034757
专利号： JPS52117628A 主分类号： G03C5/00
申请日： 1976-03-29 公开公告日： 1977-10-03
分类号： G03C5/00;
申请权利人： 公开国代码： 优先权国家： 摘 要：
主权项：
TOPPAN
PRINTING CO LTD JP JP
G03F1/00; G03F1/48; G03F1/; G03F7/00; G03F7/004; H01L21/027; H01L21/308 发明设计人： SAITOU
MASATAROU 申请国代码： JP
优先权： 19760329 JP
3475776
摘 要 附 图：
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