C1A等离子刻蚀工序操作流程
1 主题内容
本文规定了C1A等离子刻蚀工序的基本操作流程。
2 适用范围
本规定适用于C1A等离子刻蚀工序。
3 内容
3.1 生产流程 3.1.1 生产准备
⑴ 穿戴好工作服、鞋、帽、橡胶手套。 ⑵ 做好工艺卫生。
⑶ 十片假片及若干聚四氟乙烯片。
⑷ 检查各气体(CF4、O2、N2)压力必须都大于0.3MPa,如不是,立即通知当班设备人员。
⑸ 从传递窗中取出硅片轻放在工作台上。
⑹ 将夹具及聚四氟乙烯板放入腔室,运行工艺指定的刻蚀程序,使刻蚀腔室达热态。按如下程序:
① 待料时间t≤15分钟,将夹具及聚四氟乙烯板放入腔室,运行工艺指定的
刻蚀程序一次,使刻蚀腔室达热态。
② 待料时间15 ③ 待料时间t>25分钟,将夹具及聚四氟乙烯板放入腔室,运行工艺指定的 刻蚀程序三次,使刻蚀腔室达热态。 3.1.2 操作流程 ⑴ 确认扩散面,将一个批次的硅片叠放在整理装置上,扩散面倾斜向前,且两面都加一片聚四氟乙烯片(假片)和聚四氟乙烯板。 ⑵ 把硅片整理整齐后,连同聚四氟乙烯板一起拿出整理装置。在整个移动过程中,不能使硅片之间发生错位,且保持硅片的扩散面一直向下。 ⑶ 放于刻蚀夹具内,慢慢旋紧两边的螺母。 旋紧螺母,使得两聚四氟乙烯板之 第1页 间的硅片紧密结合。 ⑷ 打开腔体上盖,把夹好的硅片放入腔体,盖上腔体上盖,按下\"运行\"按钮。 ⑸ 等待设备发出程序结束警报,打开腔体上盖。 ⑹ 手垂直向下,抓住刻蚀夹具的把手,将硅片取出。 ⑺ 将取出的硅片放置在工作台上,旋开螺母,去掉两边的聚四氟乙烯板和聚四氟乙烯片(假片)。 ⑻ 将硅片放入承载盒,确认承载盒标识的扩散面和硅片的扩散面一致。 ⑼ 将硅片移到下一工序去PSG处。 3.1.3检验 每批抽取上、中、下各1片置于承载盒冷却1分钟,然后用万用表欧姆档测量各边缘,要求绝缘电阻≥5千欧,如出现任何1片不合格品,及时通知当班组长或工艺员。 3.2 仪器/工具/材料 3.2.1仪器:冷热探针测试仪、万用表、直尺。 3.2.2工具:夹具、聚四氟乙烯板。 3.2.3材料:无尘布、无水乙醇、聚四氟乙烯片(假片)。 3.3 注意事项 3.3.1在生产过程中必须每间隔两个批次检查腔室实际压强(压强显示表的显示值),如发生以下情况: ⑴ 在运行刻蚀程序主抽步骤时,所能达到的最低压强≤25pa。 ⑵ 在运行刻蚀程序辉光放电≥100s后,实际压强与设定压强的值误差在10pa以内。 3.3.2每班交时对整理装置用无尘布蘸无水乙醇擦拭二次;对夹具、铝板、工作台面必须每批次用无尘布蘸无水乙醇擦拭一次。 3.3.3每台刻蚀设备累计运行达6小时即要对石英腔室用无尘布蘸无水乙醇擦拭一次次。 3.3.4在运行程序到辉光步骤时,辉光时间≥100s后,表头反映的辉光实际功率不能偏离设定功率。如有偏离,及时通知生产组长或工艺员。 第2页 因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容
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