专利名称：提高晶圆上源漏极退火时工作电流均匀性的方法专利类型：发明专利发明人：王祥升,彭东海,陈勇申请号：CN201010555991.1申请日：20101123公开号：CN102479690A公开日：20120530
摘要：本发明提供了一种提高晶圆上源漏极退火时工作电流均匀性的方法，该方法对产品晶圆上各个区域的工作电流进行测量，得到产品晶圆边缘区域与中心区域具有差异的工作电流，这样通过对产品晶圆的边缘温度的补偿，得到产品晶圆表面一致的工作电流。采用本发明的方法大大提高了产品晶圆上源漏极退火时工作电流均匀性。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：北京德琦知识产权代理有限公司
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