专利名称：激光烧蚀扫描法专利类型：发明专利发明人：K·L·奥普戴克申请号：CN93119617.5申请日：19930929公开号：CN1090803A公开日：19940817
摘要：本发明公开了一种改进的通过烧蚀修整靶面的 方法，能够减少被烧蚀的有机物残渣在靶面上的沉 积。
申请人：博士伦有限公司
地址：美国纽约州
国籍：US
代理机构：中国专利代理()有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- dfix.cn 版权所有 湘ICP备2024080961号-1
违法及侵权请联系：TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务