小尺寸晶片抛光摩擦力在线测量装置

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201110023576.6 （22）申请日 2011.01.20 （71）申请人 大连理工大学

地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

（10）申请公布号 CN102157413B

（43）申请公布日 2012.08.15

（72）发明人 金洙吉;苑泽伟;王坤;康仁科 （74）专利代理机构 大连理工大学专利中心

代理人 梅洪玉

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

小尺寸晶片抛光摩擦力在线测量装置

（57）摘要

一种小尺寸晶片抛光摩擦力在线测量

装置，包括抛光头、电阻应变仪、数据采集仪、导线及计算机。抛光头由配重块，弹性元件、电阻应变片、集电环组成。抛光时，晶片所受摩擦力使抛光头内部的弹性元件产生弹性变形，贴在弹性元件表面的电阻应变片将弹性元件的弹性应变转化成电信号经集电环传给电阻应变仪，并通过数据采集仪输入计算机。本发明的效果和益处是能够对小尺寸晶片抛光中的摩擦力进行在线测量，不改变抛光状态，适合抛光头随抛光盘转动的

抛光方式。该方法直接测量单个晶片的摩擦力，避免了测量多个晶片摩擦合力而引入的测量误差以及间接测量所需的力学分析和计算误差。测量精度高，适合小尺寸晶片抛光摩擦力小、测量精度要求高的场合。 法律状态

法律状态公告日2011-08-17 2011-09-28 2012-08-15 2016-03-09

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

法律状态

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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