用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构[实用新型专利]

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专利名称：用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构专利类型：实用新型专利发明人：贾宝申,张向锋,温宝山申请号：CN201220688752.8申请日：20121213公开号：CN203007477U公开日：20130619

摘要：本实用新型涉及一种用于蓝宝石晶体生长的单晶炉热场结构，包括不锈钢桶，在不锈钢桶内侧设置外保温层，在外保温层内侧设置内保温桶，在内保温桶的内腔中设置鸟笼式发热体，在鸟笼式发热体的下方设置下隔热屏，在鸟笼式发热体的内腔中设置坩埚，该坩埚由底部的坩埚支撑结构支撑；在所述坩埚上端设置坩埚盖，在坩埚盖上放置上隔热屏；其特征是：所述内保温桶由上部的钼段、中部的钨段和下部的钼段连接而成。所述坩埚支撑结构包括坩埚托盘和钨管，坩埚托盘置于钨管之上，坩埚托盘与坩埚的底部接触，在坩埚托盘与坩埚的接触部分设置氧化锆涂层。本实用新型所述的单晶炉热场结构，温场分布均匀稳定、温度梯度小，解决了坩埚与托盘之间的粘连问题。

申请人：无锡鼎晶光电科技有限公司

地址：214145 江苏省无锡市新区鸿山锡协路208-6号

国籍：CN

代理机构：无锡市大为专利商标事务所

代理人：曹祖良

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