衬底处理方法及衬底处理装置[发明专利]

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专利名称：衬底处理方法及衬底处理装置专利类型：发明专利

发明人：尾辻正幸,高桥弘明,加藤雅彦,藤原直澄,山口佑,佐佐

木悠太

申请号：CN2019105836.4申请日：20190628公开号：CN1106601A公开日：20200107

摘要：本发明涉及衬底处理方法及衬底处理装置。该衬底处理方法包括：干燥前处理液供给工序，向衬底的表面供给干燥前处理液，所述干燥前处理液包含形成凝固体的凝固体形成物质、和与上述凝固体形成物质互溶的溶解物质，并且所述干燥前处理液具有比上述凝固体形成物质的凝固点低的凝固点；凝固体形成工序，通过使上述衬底的表面上的上述干燥前处理液的一部分固化，从而在上述干燥前处理液中形成包含上述凝固体形成物质的上述凝固体；液体除去工序，在将上述凝固体保留于上述衬底的表面上的同时，将上述衬底的表面上的上述干燥前处理液除去；和固体除去工序，通过使保留于上述衬底的表面上的上述凝固体变化为气体，从而将所述凝固体从上述衬底的表面除去。

申请人：株式会社斯库林集团

地址：日本京都府

国籍：JP

代理机构：北京市金杜律师事务所

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