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一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置[实用新型专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装

置

专利类型：实用新型专利

发明人：王文君,吴向方,关玉林,王兴刚,孙兆松申请号：CN201120099638.7申请日：20110408公开号：CN202168023U公开日：20120314

摘要：一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置，涉及一种射频电源的调谐匹配装置，它包括功率检测模块、相位检测模块、电容调谐控制模块1、电容调谐控制模块2、偏压检测模块、单片机模块及串口通信模块；其中功率检测模块分别与相位检测模块、射频源相连，相位检测模块与电容调谐控制模块2相连，电容调谐控制模块2与电容调谐控制模块1相连，电容调谐控制模块1与偏压检测模块相连，功率检测模块、相位检测模块、电容调谐控制模块1、电容调谐控制模块2、偏压检测模块分别与单片机相连，单片机又通过RS-485(或RS-232)串口与计算机相连，具有调谐速率快、调谐成功率高、跟踪调谐、功率数字显示及恒功率输出等特点。

申请人：沈阳宝力科技有限公司

地址：110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18号M座一层107室

国籍：CN

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