一种新型单晶炉[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种新型单晶炉专利类型：实用新型专利发明人：张昱博,霍学伟申请号：CN2020204595.8申请日：20200401公开号：CN210974924U公开日：20200710

摘要：本实用新型涉及一种新型单晶炉，包括单晶炉体、石英坩埚、石墨坩埚托、石墨加热器和底座，所述石英坩埚放置在石墨坩埚托内，石墨坩埚托底部设置有坩埚托轴，所述石墨加热器位石墨坩埚托外侧，所述单晶炉体的顶部设置有附炉室，所述附炉室的侧壁上设置有进气管和排气管，所述进气管上设置有输气泵、电子阀门、气体流量计，进气管的输入端上设置有储气箱，储气箱的输入端与排气管的输出端连通，所述储气箱的侧壁上设置有压缩机，储气箱内设置有冷凝管，冷凝管与压缩机连接。输气泵、储气箱的设计，可使惰性气体重复利用，节约制造成本保护环境；储气箱上压缩机和冷凝管的设计，可缩短停炉冷却时间，从而提高了生产效率。

申请人：曲靖阳光能源硅材料有限公司

地址：655000 云南省曲靖市曲靖开发区翠峰路83号

国籍：CN

代理机构：长沙睿翔专利代理事务所(普通合伙)

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