单晶炉[实用新型专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：单晶炉专利类型：实用新型专利

发明人：陈五奎,刘强,徐文州,耿荣军,党建平申请号：CN201621382087.4申请日：20161215公开号：CN2063596U公开日：20170728

摘要：本实用新型公开了一种能够降低热场温度变化对单晶硅生产质量造成影响的单晶炉。该单晶炉，包括炉体、石英坩埚；所述炉体上方设置有晶种提升旋转机构；所述炉体下部设置有坩埚拖杆；所述坩埚拖杆一端设置有钳锅托盘，所述石英坩埚安装在钳锅托盘上；所述坩埚拖杆的另一端设置有坩埚上升旋转机构；炉腔内设置有加热装置，加热装置与炉腔的内壁之间设置有保温层；炉腔底部设置有下部加热器；炉腔底部设置有凸台，坩埚拖杆上设置有与凸台匹配的环形套，所述环形套与凸台配合；所述坩埚拖杆上设置有支撑板，所述支撑板上设置有坩埚加热器。采用该单晶炉能够避免炉腔内的热量流失，保证炉腔内的热场温度，从而保证单晶硅的生产，保证单晶硅的产品质量。

申请人：乐山新天源太阳能科技有限公司

地址：614000 四川省乐山市高新区建业大道9号

国籍：CN

代理机构：成都点睛专利代理事务所(普通合伙)

代理人：李玉兴

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