一种方形硅芯的制备方法

(12)发明专利说明书

(21)申请号 CN202110611711.2 (22)申请日 2021.06.02

(71)申请人 内蒙古和光新能源有限公司

地址 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业区开放大街审图中心主楼3007-2

(72)发明人 李帅 吴海啸 刘小明 武建华 邢瑞栋 边雨 (74)专利代理机构 11470 北京精金石知识产权代理有限公司 代理人 宋秀兰 (51)Int.CI

C30B15/00(20060101) C30B15/20(20060101) C30B29/06(20060101)

(10)申请公布号 CN 113355737 A (43)申请公布日 2021.09.07

权利要求说明书 说明书 幅图

()发明名称

一种方形硅芯的制备方法

(57)摘要

本发明涉及硅芯的工艺技术领域，

具体涉及一种方形硅芯的制备方法。所述制备方法包括如下步骤：(1)投料；(2)熔化多晶硅原料；(3)引晶；(4)放肩；(5)转肩；(6)等径生长；(7)收尾；(8)停炉，开炉，切

割，酸洗得方硅芯；其中，放肩步骤通过调节单晶炉通电功率和软轴轴上提速度，将细晶直径放肩到200㎜以上；等径生长通过调节电功率，软轴与坩埚的上升速度，拉晶电阻率分布更均匀的晶体棒。本发明通过对关键工艺参数的控制，缩短了拉晶时间，减少了坩埚与熔融硅液接触的时间，有效减少硅晶液中杂质的含量，有利于控制硅芯的电阻率。 法律状态

法律状态公告日 法律状态信息 2021-09-24 实质审查的生效 2021-09-07 公开 2022-08-30 授权

专利权质押合同登记的生效IPC(主分类):C30B15/00专利号:ZL2021106117112登记

2023-06-02号:Y2023150000074登记生效

日:20230518出质人:内蒙古和光新能源有限公司质权人:兴业银行股份有限公司呼和浩特分行发明名称:一种方形硅芯的制备方法申

法律状态

实质审查的生效

公开

发明专利权授予

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

请日:20210602授权公告日:20220830

权 利 要 求 说 明 书

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