序号一123保养内容机械部分保养（由设备维修人员操作）炉台整体的水平减速机更换润滑油、直线滑杆、滚珠丝杠、直线导轨副检查炉台上部和下部提升旋转机构润滑以及上下限位、极限位，炉体打开关闭的传感器，检查籽晶的上下限位和下极限是否有效，旋转的中心位置有否偏移以及中轴有否震动现象检查真空部件和阀有否松动，氩气管路是否泄漏的现象测试籽晶升降旋转和坩埚升降旋转马达的实际值和显示值，有否偏差，并清扫炉台冷却水系统检查冷却水管接头接头处是否有漏水、生锈现象检查水管是否有老化磨损现象或被烫坏检查关键部位的水温传感器报警时温度与设定值是否相符炉台有局部发热现象对炉台循环水路进行清洗电气部分保养（由设备电气人员操作）6个月6个月6个月6个月6个月6个月6个月周期 月份1年1年3个月1月2月3月4月5月43个月56二710三3个月3个月11电气柜各电气元件检查、除尘、电机检查1213籽晶旋转升降、坩埚旋转升降马达，热屏升降马达检查直流电源柜（电容、可控硅、水管等）护保养记录表
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