单晶炉点检表

维修、保养、检查的内容序号点检部位坩埚轴减速器1坩埚升降齿轮等传动部件所有螺钉坩埚轴水平波纹管点检项目点检内容是否损坏润滑油润滑油是否松动是否水平是否有异物检查、维修、保养时间每次大清理热场时1年换一次1个月1个月一年1个月钢丝绳2提拉头减速器带及带轮提拉头水平四氟套副室、炉盖升降机及炉体升降升降机上螺母丝杠、导向轴机构直线导轨是否损坏或严重氧化润滑油是否损坏是否水平是否损坏涂抹润滑脂涂抹润滑脂每次开炉前1年换一次1个月一年1个月1星期1个月6个月每次大清理热场时1个月34电极电极表面状态全部管路有无打火及残缺有无泄漏点 检 表

维修、保养、检查的内容序号点检部位点检项目点检内容加真空泵油检查、维修、保养时间2星期滑阀真空泵（主真空泵）2-3个月换真空泵油5真空系统加真空泵油1个月旋片真空泵（副真空泵）换真空泵油3个月真空部件和阀炉体各种O型圈是否松动是否磨损1月3个月点 检 表

维修、保养、检查的内容序号点检部位点检项目真空泵的皮带点检内容皮带松紧程度及破损状况检查、维修、保养时间1个月每炉3个月每炉2个月3个月3个月 每炉内循环水6外循环水循环水系统氩气系统7氩气压力电气柜各电气元件（传感器、电位器等）设备除尘直流电源柜（电容、可控硅、电气系统水管等）冷却水管接头、水管氩气管路无泄漏压力正常换水无泄漏无堵塞换水否有漏水、生锈是否漏气损坏或校准6个月6个月8损坏更换6个月点 检 表

维修、保养、检查的内容措施损坏及时时更换如减速器有异响或机温过高应及时加注润滑油时间点检人备注及时紧固及时清理损坏或者严重氧化的及时更换如减速器有异响或机温过高应及时加注润滑油损坏及时时更换中轴震动检查，及时更换如有问题及时更换及时检查①应经常保持泵及泵房的干燥清洁。点 检 表

维修、保养、检查的内容措施②注意泵温，用手轻轻触摸真空泵不是特别烫手。（即泵温最高不得超过环境温度加上40℃。）③室温在5℃以下时，停车后必须将冷却水套内的水全部排净。④较长时间不用时必须将冷却水套内的水全部排净。⑤新泵工作150小时后换油一次。⑥2星期点检一次看油量情况加注真空泵油。2-3个月看油质情况换油一次，如果使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间⑦具体维护、保养参照滑阀真空泵说明书①应经常保持泵及泵房的干燥清洁。②注意泵温，用手轻轻触摸真空泵不是特别烫手。（即泵温最高不得超过环境温度加上40℃。）③室温在5℃以下时，停车后必须将冷却水套内的水全部排净。④较长时间不用时必须将冷却水套内的水全部排净。⑤1个月点检一次看油量情况加注真空泵油。3个月看油质情况换油一次，如果使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间⑥具体维护、保养参照滑阀真空泵说明书损坏及时时更换影响真空及时更换时间点检人备注点 检 表

维修、保养、检查的内容措施损坏及时时更换时间点检人备注①一般总进水压力4Kg/cm2左右，进入设备后2Kg/cm2左右。可调节回水阀处理②若有泄漏立即报告领导处理视水质好坏每季度更换纯进水若有泄漏，或堵塞报告领导处理视水质好坏更换报告领导处理总压力4Kg/c㎡左右，进入设备后2Kg/c㎡左右