透射电镜(TEM)测试标准主要包括以下几个方面:
1. 样品制备:透射电镜样品需要经过精细的制备过程,以确保样品的表面平整、无划痕、无污染。制备过程中需要使用专业的工具和设备,如切割机、抛光机等,以确保样品的表面质量和完整性。
2. 样品厚度:透射电镜样品需要具有一定的厚度,以便在电镜下观察到样品的内部结构。样品的厚度需要根据实验目的和样品类型来确定,一般要求在几十纳米到几百纳米之间。由于受电镜高压,透射电子束一般只能穿透厚度为几十纳米以下的薄层样品,建议TEM的样品厚度最好小于100nm,太厚了电子束不易透过,分析出来的图片不清晰,成像不好。
3. 样品纯度:透射电镜样品需要具有较高的纯度,以避免杂质对实验结果的影响。样品的纯度可以通过化学分析、光谱分析等方法进行检测。
4. 样品状态:粉末、液体样品均可,一般会对样品做离子减薄、双喷、FIB、切片制样处理。
5. 样品磁性:强磁性样品可以进行消磁处理,要求颗粒大小200纳米,建议将样品由检测方制备。
以上是透射电镜(TEM)测试标准的主要内容,具体标准可能会根据实验目的和样品类型有所不同。在进行TEM测试时,建议咨询专业人士或机构,以确保测试结果的准确性和可靠性。
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