用于基板定位和检测的偏移校正方法和装置[发明专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：用于基板定位和检测的偏移校正方法和装置专利类型：发明专利

发明人：杰克·陈,安德鲁·D·贝利三世,本·穆林,斯蒂芬·J·凯恩申请号：CN2007800324.1申请日：20070914公开号：CN101523287A公开日：20090902

摘要：本发明提供一种用于捕获基板图像的斜角检测模块。该模块包括与基板夹头连接的旋转马达，该旋转马达被配置为旋转该基板夹头从而使该基板旋转。该模块还包括照相机和与照相机连接的光学罩，该光学罩被配置为可以旋转的，使闪光可以朝向该基板。该照相机装载在照相机支架上，该照相机支架被配置为使该照相机可水平旋转180度，使得该照相机可以捕获图像，该图像至少包括该基板的俯视图，仰视图和侧视图之一。该模块还包括背光装置，该背光装置被配置为提供光照给该基板，从而使该照相机能捕获该图像，该图像显示基板和背景间的对比。

申请人：朗姆研究公司

地址：美国加利福尼亚州

国籍：US

代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司

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