一种无胶双面挠性覆铜板生产设备[发明专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种无胶双面挠性覆铜板生产设备专利类型：发明专利发明人：林壁鹏

申请号：CN201711029947.5申请日：20171030公开号：CN107841718A公开日：20180327

摘要：本发明公开了一种无胶双面挠性覆铜板生产设备，包括真空腔体、收放卷系统，所述真空腔体一侧设置有靶极车，所述靶极车上设置有靶极，所述靶极车与所述真空腔体之间设置有第二密封件。有益效果在于：(1)空腔体为圆形，不会形成抽气死角，真空度均匀；真空获得系统为分子泵无油系统，确保了真空室内无返油；配置的深冷泵提高对连续镀膜过程中基材放气的抽速，从而提高了工作效率。(2)采用了双收放卷系统，可以满足磁控溅射区全幅宽的一卷双面镀及两卷单面镀；也可以满足镀区半幅宽的两卷镀单面及双面镀，功能全面。(3)在进入磁控溅射区处设离子源处理装置，对基材表面进行离子轰击，提高基材表面粗糙度，确保膜层与基材之间的剥离强度。

申请人：深圳市西陆光电技术有限公司

地址：518116 广东省深圳市龙岗区坂田街道江灏(坂田)工业厂区6号厂房第三层

国籍：CN

代理机构：北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：马金华

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