薄膜晶体管、有机电致发光显示元件及其制造方法[发明专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：薄膜晶体管、有机电致发光显示元件及其制造方法专利类型：发明专利

发明人：胡堂祥,王怡凯,颜精一,林宗贤,何家充申请号：CN200610003073.1申请日：20060208公开号：CN101017782A公开日：20070815

摘要：一种薄膜晶体管的制造方法，其包含下列步骤：首先，于基板上形成栅极；之后，于基板上形成栅绝缘层，以覆盖此栅极；接着，于栅绝缘层上形成源极/漏极层，此源极/漏极层暴露出栅极上方之部分的栅绝缘层；继之，于源极/漏极层上形成绝缘层，此绝缘层具有开口，以暴露出栅极上方之部分的栅绝缘层与部分的源极/漏极层；最后，于绝缘层之开口中形成通道层，使通道层与源极/漏极层电连接，且通道层由上述开口中暴露出来。

申请人：财团法人工业技术研究院

地址：省新竹县竹东镇中兴路四段195号

国籍：CN

代理机构：北京连和连知识产权代理有限公司

代理人：包红健

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