集成式双向超低电容TVS器件及其制造方法[发明专利]

来源：抵帆知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：集成式双向超低电容TVS器件及其制造方法专利类型：发明专利发明人：张常军,王平

申请号：CN201310422927.X申请日：20130916公开号：CN103474428A公开日：20131225

摘要：本发明提供了一种集成式双向超低电容TVS器件及制造方法，包括：提供第一导电类型衬底；其上形成第一导电类型外延层；在第一导电类型外延层上形成第二导电类型外延层，形成二极管D2；形成隔离结构，并形成第一区域、第二区域及第三区域；在第一区域中形成第一导电类型隔离，其与第一导电类型衬底相连；在第三区域中形成第二导电类型阱；在第一区域中形成第二导电类型注入区，其与第一导电类型隔离相连，形成二极管Z1；在第二区域及第二导电类型阱中均形成第一导电类型注入区，形成二极管D1及二极管Z2；形成第一金属线及第二金属线，分别连接二极管Z1及二极管D1，二极管D1及二极管Z2。从而避免了封装上的缺陷，提高了器件质量。

申请人：杭州士兰集成电路有限公司

地址：310018 浙江省杭州市(下沙)经济技术开发区东区10号路308号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：郑玮

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